MEMS

MEMS

Veecoのシステムをご利用いただけば、複雑な薄膜層構造を精密に制御でき、小型化とデバイスの組み合わせ統合が実現されます。

マイクロ電子機械システム(MEMS)は、周囲の環境を感知し、何らかの方法で相互に作用するための電気的要素と機械的要素を組み合わせた小型デバイスです。MEMSデバイスの種類は多様にありますが、自動車のエアバッグの加速度計、インクジェットプリンタヘッド、携帯電話や携帯ゲーム機などの「スマート」機器のジャイロスコープ、マイクロフォン、ワイヤレス通信システム、携帯ラボオンチップ デバイスなどがその代表的な例です。来たるモノのインターネット(IoT)の時代は、スマートデバイスと実世界の相互作用を可能にするMEMSやセンサーに大きく依存するようになります。

複雑な薄膜層構造を精密に制御

MEMSメーカーは、半導体製造と似たプロセスを使用して、より小型で、高性能の低コスト デバイスの生産による革新を推進します。たとえば、ウエハが薄くなることは、パッケージングされたMEMSデバイスのサイズの小型化に重要です。ただし、MEMSの製造は、半導体の製造と異なり、標準化された製造プロセスがありません。MEMSデバイスが異なれば、ウエハとフォトレジストの厚さも異なるため、プロセス装置には、このような異なる要件に対応する柔軟性が必要になります。ウエハを薄くするプロセスを精密に制御することは、高デバイス歩留まりを確保するために必須ですが、製造コスト全体を下げるためには高スループットと低所有コストが重要です。

MEMSおよび磁気センサーの製造ソリューション

Veecoの精密表面処理ソリューションは、MEMS製造業の原料除去ニーズに対応するために必要な高い柔軟性と精度を提供します。

精密表面処理システム

Veecoの精密表面処理システムは、高度なパッケージング、RF、MEMS、フラットパネル、および化合物半導体業界の最先端を歩んでいます。

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