RF

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自動プロセス装置は、RF市場に超高精度エピタキシャル成長ウエハを提供します。

RFデバイスに対する需要と市場規模は拡大しています。Veecoは、化合物半導体エピウエハの効率的な大量生産を促進します。精密表面処理とMBEの自動プロセス装置は、RF市場で拡大する分野に超高精度技術を提供します。

RF生産の推進

材料研究用システムの構築で培った Veeco 社の経験は、生産レベルの化合物半導体製造に革新と低コストでの確かな生産性を実現しています。システムの自動化と各種蒸発ソースは、RFネットワークやオプトエレクトロニクスの新技術向けに、新しい原料だけでなく、従来のIII-V族およびII-VI族の原料での成長も可能にします。

当社のプロセス統合センターでは、具体的な生産実績も得られるようになってきました。ここでは、新たな原料や用途でプロセスを研究規模から生産規模に拡大する際に、そこで発生する課題を解決するうえで効果的な専門知識を提供しています。

Veecoの強みは以下の通りです。

  • GEN2000® MBEシステムなど業界をリードする分子線エピタキシー装置(MBE)システムはウエハ当たりのコストを極限まで抑える
  • シングルウエハ金属リフトオフおよびエッチング用の精密表面処理技術
  • 成長モジュールを複数設けることで、スループットの向上や、混合できない原料の処理を可能にする
  • ウエハ処理の自動化により、MBE のセミスタイル生産を効率化することができます。
  • メンテナンスの容易化により、稼働率を最大にします。
  • 成長モジュールでは、3 インチ、4 インチ、6 インチ、または 8 インチのウエハを処理できます。
  • 信頼性と再現性に優れた結果を得るための厳格な運用基準で設計されたコンポーネントとソース
  • 先進的なプロセス統合センターでは、新たな応用に対するソリューションの探求を支援する専門技術を提供する
  • RF分野向けのプロセス装置 

Veecoは、MBEと湿式エッチングのシステムとコンポーネントを扱う世界有数のサプライヤとして、これからお客様が手がける原料、プロセス、およびデバイスの開発を今すぐにお手伝いできる体制を整えています。

精密表面処理システム

Veecoの精密表面処理システムは、高度なパッケージング、RF、MEMS、フラットパネル、および化合物半導体業界の最先端を歩んでいます。

MBE テクノロジー

Veeco は、革新的で信頼性のある分子線エピタキシー装置 (MBE) システムについて、業界で最も幅広い製品ラインアップを提供しています。

Ultratech - Veecoの一事業部

高度なアニーリング用のレーザー処理機器、高度なパッケージングおよびHBLEDリソグラフィ用のフォトリソグラフィ ステッパー、インライン ウェハ モニタリング用の検査システム、研究におけるさまざまな用途で用いられるALD装置などの幅広い製品群を取り揃えています。

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当社の販売チームによる支援が可能になります。