イオンビーム エッチング装置

イオンビーム エッチング装置

Lancerイオン ビーム エッチング システム

Lancerイオン ビーム エッチング システム

低所有コストと高品質のエッチング特性を実現するスタンドアロン イオン ビーム エッチング システム

Veecoイオン ビーム エッチングの特長

イオン ビーム エッチングは、量産環境での高度な薄膜デバイスの製造を可能にする、実績のあるテクノロジーです。しかし、研究開発およびパイロット ライン製造環境はともに、次世代MEMS、磁気センサー、データ ストレージ デバイスの技術革新を続けています。このような製品では、業界最高水準の性能仕様を満たす高性能エッチング システムも利用します。現在、薄膜デバイス アプリケーションに対応するVeecoのイオン ビーム エッチング システムは、世界中で300台以上設置されています。

新しいLancer IBEシステム

新しいLancer™イオン ビーム エッチング(IBE)システムは、接続性、機能、および移動性を実現するスマートフォン、自動運転式自動車、その他の「モノのインターネット」デバイスに使用される次世代電子機器の開発および製造のために設計されました。

Lancerシステムでは、次の特長により、研究開発および製造環境において達成可能な優れたデバイス品質を実現します。

  • クラス最高水準のシステム性能と機能
  • 旧世代のIBEに比べて設置面積が小さい、単一モジュール構成
  • 現在大規模な設置ベースで使用されている、製造現場で実績のあるテクノロジー
  • 専用のプロセスと技術的な専門知識が含まれている大規模なアプリケーション データベース
  • 世界トップクラスの顧客満足度を保証する、Veecoの販売およびサービス サポート インフラストラクチャ   

 

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