Mark I+グリッドレスイオンソース

真空被覆処理用に高ビーム電流を実現

表面処理、アシスト蒸着および選択エッチングアプリケーションに最適なMark I+グリッドレスイオンソースは、プロセスの均一性を改善し基板損傷を防止する、真空コーティングプロセス用に適当な高ビーム電流を提供します。

• 直径750mm以下のシステムにおいて、真空コーティングプロセス用に設計
• 高電流、低エネルギー イオンが必要なアプリケーションでの使用に効果的
• 膜応力および化学量に特に役立つ高ビーム電流
• 反応環境を含む工業処理にも最適
• シリーズイオンソースコントローラ（個別に使用可能）で、ソースパフォーマンスを補填し、安定した信頼できるプロセス動作を実現