精密表面処理システム

精密表面処理システム

金属リフト オフ - WaferStormプラットフォーム

金属リフト オフ - WaferStormプラットフォーム

独自のImmJETウエハ処理技術

この溶媒ベースのシステムは、VeecoのImmJET技術を組み合わせて統合したもので、従来の湿式ベンチ ツールまたは単一噴霧ツールに比べて、歩留まりを向上させ、スループットを高め、化学薬品のコストを低減できます。浸漬ステーションは低酸素空気で作動するため、溶液槽の寿命を長く保つことができます。浸漬タンク内の液浸の後、噴霧チャンバー内でリフトオフを行います。

特長

  • 加熱浸漬タンク
  • 高圧噴霧チャンバー
  • リフトオフ原料濾過システム
  • 高圧流量モニタリング
  • 化学薬品の使用量が少ない

 アプリケーション

  • MEMS
  • LED/VCSEL
  • RFデバイス
  • パワー エレクトロニクス
  • 化合物半導体
  • データ ストレージ
 

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