VeecoのNEXUS DLC-Xシステムで、高密度、均一で、再現可能なダイヤモンドライク カーボン(DLC)の薄膜を蒸着し、長寿命の薄膜磁気ヘッド(TFMH)スライダー オーバーコートとランディング パッドを作ります。Nexus DLC-X は、sub-20Aオーバーコートの厚さを可能にする業界初の生産価値のあるパルス式カソード アークソースを備え、旧世代に比べてより高いプロセス歩留まりを目ざし、段階被覆率の改善をサポートします。
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