NEXUS PVD-1 PVD システム

蒸着モジュール。本システムは幅広いウエハサイズに適応し、磁性材料と同様、酸化物や窒化物の蒸着など、様々なデータストレージ アプリケーションに適しています。また、半導体、GaAs、およびパッケージング アプリケーションにも、高性能で高い費用効果で対応します。

プロセスおよび生産ニーズに対応するように簡単に構成できます。
3インチから8インチまでのウエハサイズをサポート
標準アクセサリーは、カソード、ウエハチャック、ガスマニフォールド、シャッターおよびポンプパッケージを含みます。
モジュール方式により、オペレーターおよびメンテナンスのトレーニング、および予備部品のストックを簡素化できます。
NEXUS イオンビームエッチング、イオンビーム蒸着およびその他の蒸着モジュール ツールとのドック増設は簡単で短時間でできます。