Piezocon ガス濃度センサー

再現性の高い蒸気供給制御の業界標準

Piezocon®ガス濃度センサーは、CVDおよびMOCVDプロセス ツールにおいてプリカーサ蒸気およびドーパントガスを正確にモニタリングし、高い再現性で供給制御する際に使用されるセンサーとして、半導体メーカー業界標準となっています。

世界中で 5,000 台以上を導入した生産実績のある Piezocon システムには、以下のような利点があります。

• プロセス ガスおよびプリカーサ蒸気の厳密な供給制御によるプロセス再現性および歩留まりの向上
• プリカーサ化学薬品の有効利用、プリカーサ化学薬品の利用拡張、および換気通風時間の短縮による運用コストの削減
• 機器およびプロセス技術者にとって直接的な意味のある定量的情報を用いた容易なツール間整合
• 内蔵診断ユーティリティの利用によるガス・蒸気供給システムのトラブルシューティングの支援

関連資料：

データシート：Piezocon ガス濃度センサー

ホワイト ペーパー：B-SiGeエピタキシー蒸着の音響制御システムによるドーパント濃度制御の改善

ホワイト ペーパー：エピタキシャル プロセスにおけるシリコン蒸着率の制御