このソースは、良好な温度安定性とともに、高蒸気圧マテリアルでクラッキングなし蒸着源として最適です。これは、独特な形のるつぼ用に作製されたデュアル　フィラメント　ヒーターによって達成されています。また、この設計によって、フラックスの遮蔽およびソースの溜まりこみにつながる、るつぼの縁における凝結の発生を防ぎます。追加の差し込みは、るつぼの背圧をより制限するためにも利用可能です。

• 175 台以上の出荷実績のある特許を有する設計
• 低温蒸発用の多様な高パフォーマンスソース
• SUMO 設計で、優れた光束安定と統一性を大容量荷電と組み合わせます。
• PBN るつぼ構造で、素材品質を最適化
• 有機素材に最適ソース

特許取得済みの低温SUMO®ソースは、良好な温度安定性と共に、高蒸気圧原料のバルブなし蒸着のソースに最適です。SUMOソースは、独特な形のるつぼに合わせて調整されたデュアル フィラメント ヒーターから構成されています。ソースは、るつぼの縁における原料の再凝結によって引き起こされるフラックス遮蔽およびソースの溜まりこみを防ぐために、ホットリップ モードで稼働されます。低温SUMOソースは、熱遮断囲いにより、100～750°Cの範囲で最適なソースの応答性および安定性を実現します。

高蒸気圧原料では、わずかな温度の変化もフラックスに著しい変化をもたらすため、温度の安定性が非常に重要です。基板マニピュレーターからの放熱によって、安定したビーム フラックスを非常に低いソース稼働条件下で維持するのは難しくなります。開口部が小さいため、円錐形または円筒形のるつぼの代わりにSUMOソースを使用すると、この影響は著しく削減されます。

この分野で175以上の特許取得済みの設計、低温蒸着用の多様な高性能ソース、るつぼ開口部での凝結を防ぐためのデュアル フィラメントによるホットリップ加熱、フラックスの優れた安定性および均一性と大容量充填を兼ね備えたSUMO 設計、原料の品質を最適化するPBNるつぼ構造、有機素材に最適なソースです。

SUMOるつぼ

特許を有する独自のるつぼ機能は、以下の通りです。

• 大きな充填容量用の円筒形の水槽と最小化された長期間での原料減少効果
• 最適なフラックス分布のための小さなテーパー付き開口部
• 廃棄物を最小限に抑えつつ、優れたフラックス均一性を実現するための出口部
• 原料品質を最適化するためのPBN構造

るつぼの開口部のサイズを制限し、るつぼの背面圧力を増大させるためのオプションのインサートを使用できます。この技術により、ドーパントとして使用される非常に高蒸気圧原料の性能が向上します。インサートは、300°C以下の温度で操作されるソースの場合にお勧めします。

有機物用低温SUMO

低温SUMOソースは、有機発光ダイオード（OLED）および電子アプリケーションによく使用される高蒸気圧有機原料との併用に適しています。安定したビーム フラックスは、有機物の低温伝導性のため、従来の蒸着ソースでは実現が困難です。低温SUMOソースは、有機物の安定性および均一性の高い蒸着に最適なソリューションです。原料を最大限に活用し、ブローバイを最小限に抑えるために平行ビームが必要なアプリケーションには、「長いラッパ状」のSUMOるつぼが使用可能です。

性能と利点

低温SUMOソースは、高蒸気圧原料の蒸着の必要性に合わせて設計されています。

利点は以下の通りです。

• 低動作温度で最適パフォーマンス
• 大きなマテリアル容量
• るつぼ開口部における凝結を防ぐためのデュアル フィラメントによるホットリップ加熱
• 長時間のフラックス安定性
• 最小限のシャッター開閉影響
• 原料の品質を最適化するためのPBNるつぼ構造