テクノロジーと製品

Ultratech - Veecoの一事業部

高度なアニーリング用のレーザー処理機器、高度なパッケージングおよびHBLEDリソグラフィ用のフォトリソグラフィ ステッパー、インライン ウェハ モニタリング用の検査システム、研究におけるさまざまな用途で用いられるALD装置などの幅広い製品群を取り揃えています。

MOCVD システム

Veecoは、低所有コストで高いスループットを目的とした業界最先端の様々なMOCVD装置をお届けします。

精密表面処理システム

Veecoの精密表面処理システムは、高度なパッケージング、RF、MEMS、フラットパネル、および化合物半導体業界の最先端を歩んでいます。

MBE テクノロジー

Veeco は、革新的で信頼性のある分子線エピタキシー装置 (MBE) システムについて、業界で最も幅広い製品ラインアップを提供しています。

イオン ビーム スパッタリング

Veecoは、精密光学コーティングとオプトエレクトロニクス デバイス向けの広範なイオン ビーム スパッタリング テクノロジーを提供しています。

ガス&蒸気供給システム

Veecoのガス・蒸気供給システムは、半導体メーカーや半導体製造工場が直面する、原料コスト、プロセス再現性、システム稼働時間などの重要な課題に対応します。

イオンビーム・システム & ソース

Veecoは、業界をリードするイオン ビーム エッチングおよび蒸着技術を提供します。

化学気相成長法

Veecoの化学的気相成長システムによって、次世代TFMHを実現するコンフォーマル金属成膜プロセスが実現します。

ダイヤモンドライク カーボン(DLC)

VeecoのNEXUS DLC-Xシステムで、高密度かつ均一で、再現可能なダイヤモンドライク カーボン(DLC)の薄膜を蒸着し、長寿命のTFMHスライダーオーバーコートとランディングパッドを作ります。

PVD システム

Veecoの物理蒸着システムは、多様な薄膜蒸着アプリケーションに最大限の柔軟性を提供します。

ダイシング&ラッピング システム

Veecoのダイシング&ラッピング システムは、読み取り/書き込み記録ヘッド、LED、太陽電池、マイクロエレクトロニクス、フォトニクスなどの広範な用途向けに高い生産性を備えたダイシング ソリューションを提供します。