化学気相成長法

化学気相成長法

Veecoの化学的気相成長システムによって、次世代TFMHおよび400gb/平方インチを超える面密度を実現するコンフォーマル金属成膜プロセスが実現します。

NEXUS CVD化学的気相成長システム

NEXUS CVDシステムによって次世代TFMH を実現共通のハードウェアとソフトウェアのプラットフォーム上で、その他のVeecoのIBE、IBD、物理気相成長などの技術と統合できます。