ダイヤモンドライク カーボン(DLC)

ダイヤモンドライク カーボン(DLC)

VeecoのNEXUS DLC-Xシステムで、高密度かつ均一で、再現可能なダイヤモンドライク カーボン(DLC)の薄膜を蒸着し、長寿命のTFMHスライダーオーバーコートとランディングパッドを作ります。Nexus DLC-X は、sub-20A オーバーコートの厚さを可能にする業界初の生産価値のあるパルス式カソードアークソースを備え、旧世代に比べてよりよいプロセス収率を目ざし、段階被覆率の改善をサポートします。

NEXUS DLC-Xダイヤモンドライク カーボンシステム

VeecoのNEXUS DLC-Xシステムで、高密度、均一で、再現可能なDLCの薄膜を蒸着し、長寿命のTFMHスライダー オーバーコートとランディング パッドを作ります。