ガス&蒸気供給システム

ガス&蒸気供給システム

Veecoのガス・蒸気供給システムは、半導体メーカーや半導体製造工場が直面する、原料コスト、プロセス再現性、システム稼働時間などの重要な課題に対応します。

Apexガス混合システム

Apexガス混合システムによって、低コストの高濃度ガスを購入して生産コストを削減します。

精密ガス混合システム

精密ガス混合システムによって、高度な濃度制御を実現します。ガス混合システムによって、厳密なプロセス制御および高い歩留まりを実現します。

Piezocon ガス濃度センサー

Piezocon®ガス濃度センサーは、CVDおよびMOCVDプロセスにおいてプリカーサ蒸気およびドーパント ガスの再現可能な蒸気供給制御を行うための業界標準として歩留まりを向上させます。