イオン ビーム スパッタリング

イオン ビーム スパッタリング

Veecoは、精密光学コーティングとオプトエレクトロニクス デバイス向けの広範なイオン ビーム スパッタリング テクノロジーを提供しています。

光学コーティング向けのSPECTOR-HTイオン ビーム スパッタリング システム

受賞履歴のあるSPECTOR-HT™ 先進イオン ビーム システムで実現する高水準の生産性とスループットにより、高品質な光学薄膜が生まれます。

光学コーティング向けのSPECTORロードロック イオン ビーム スパッタリング システム

VeecoのSPECTORロードロック システムでは、バッチ ツールに必要な通常のプリプロセス手順より蒸着時間が短くなった設計で、スループットを容易に2倍まで高めることができます。

光学コーティング向けのSPECTORイオン ビーム蒸着スパッタリング

VeecoのSPECTOR®イオン ビーム スパッタリング(IBD)光学コーティング システムにより、高い精度と柔軟な薄膜プロセスを実現できます。

光学コーティング向けのSPECTOR大面積イオン ビーム蒸着システム

VeecoのSPECTOR®大面積プラネタリ イオン ビーム蒸着システムは、電子ビーム システムに近いバッチ サイズで高品質のイオン ビーム薄膜を提供します。