Veecoは、業界をリードするイオン ビーム エッチングおよび蒸着技術を提供します。
イオンビーム蒸着(IBD)システムによって、均一性と再現性を最大限に高める、極めて精密で高純度の薄膜層デバイスを生み出します。
NEXUS®イオン ビームエッチング(IBE)システムで、不連続マイクロ電子デバイスおよびコンポーネントの高歩留まり生産のために、精密で複雑なパターンをエッチングします。
Veecoは、業界唯一のリニアグリッドソースなど、幅広い用途に対応する最も包括的なイオンビームソースを多数提供しています。
低所有コストと高品質のエッチング特性を実現するスタンドアロン イオン ビーム エッチング システム