イオンビーム・システム & ソース

イオンビーム・システム & ソース

Veecoは、業界をリードするイオン ビーム エッチングおよび蒸着技術を提供します。

イオンビーム蒸着

イオンビーム蒸着(IBD)システムによって、均一性と再現性を最大限に高める、極めて精密で高純度の薄膜層デバイスを生み出します。

イオンビーム エッチング装置

NEXUS®イオン ビームエッチング(IBE)システムで、不連続マイクロ電子デバイスおよびコンポーネントの高歩留まり生産のために、精密で複雑なパターンをエッチングします。

イオンソース

Veecoは、業界唯一のリニアグリッドソースなど、幅広い用途に対応する最も包括的なイオンビームソースを多数提供しています。