グリッドレス エンド‐ホール イオンソース

グリッドレス エンド‐ホール イオンソース

Veecoのグリッドレス エンド ホール イオン ソースは、真空コーティング プロセス用の高ビーム電流を提供します。

Mark II+グリッドレスイオンソース

大幅に増加したビーム電流と取り外し可能なアノード部品により、Mark II+エンド ホール イオン ソースは新しい価値が付加されました。

Mark II+コントローラ

Mark II+イオンソースコントローラを使用することで、イオンソース性能と薄膜エッチング、処理および蒸着均一性を最大化することができます。

Mark II+グリッドレス高出力

高電流、低エネルギー イオンを必要とする用途については、Mark II+グリッドレス高出力イオン ソースは直径70~130 cmのチャンバー用真空コーティング処理用に設計されています。

Mark I+グリッドレスイオンソース

VeecoのMark I+グリッドレス イオン ソースにより、プロセス均一性が改善され、基板損傷を防ぎます。真空コーティング処理用に高ビーム電流を実現します。