レーザー処理システム

レーザー処理システム

Ultratechの市販のレーザー処理システムは、きわめて浅い接合部と高度に活性化されたソース/ドレイン接点を製造するという困難な課題に対するソリューションを提供します。

Veeco Ultratech LSA 101レーザー スパイク アニール システム

VeecoのLSA101 Ultratechシステムは、40nmから14nmノードまでの高度な論理デバイスの量産に適したテクノロジーであり、世界中の主要なIDMや工場に選ばれています。

Veeco Ultratech LSA 201環境制御レーザー スパイク アニール システム

LSA 201のアーキテクチャはLSA 101と同じですが、特許取得済みのマイクロ チャンバー設計を採用しています。これにより、走査型レーザー システムでウエハ全体の環境制御が可能になります。