リソグラフィー システム

リソグラフィー システム

Ultratechリソグラフィー ツールは、所有コストのメリットとサポート インフラストラクチャに加えて、その技術的な特長により、高度なパッケージング市場向けの低リスクでインテリジェントなリソグラフィー ソリューションとなります。

Veeco Ultratech AP200/300リソグラフィー システム

Veecoのリソグラフィー システム スイートは、カスタマイズ可能なUnity Platform™をベースにしており、優れた重ね合わせ、解像度、側壁プロファイルの性能と、高度に自動化されたコスト効率のよい製造を実現します。