MBE コンポーネント

MBE コンポーネント

Veecoは、厳格な製造基準に則り、信頼性が高く、様々なアプリケーションに対応できるように設計されたMBEコンポーネントを幅広く提供しております。

電源ソリューション

汎用MBE電源用 

リン回収システム(PRS)

リン回収システム(PRS)では、メンテナンスおよびソースの交換のためにMBEシステムを開ける前に、白リンを安全にトラッピングして中和します。

酸素圧制御システム

Veecoの酸素圧制御システムにより、MBEの酸化物アプリケーションで酸素を効率的で安全に制御します。MBE成長モジュール内の酸素量を高精度で制御可能です。

ガス ソース供給システム

Veecoのガス ソース供給システム(GSDS)では、ガスの精密な制御を実現しています。不活性ガス、有害ガス、可燃性ガスなどのインターロックおよびモニタリングが可能になり、既存のシステムに簡単に統合できます。

成長ステージ ポジショナー

Veeco GSPにより、精密、正確で再現性のある位置決めが可能になり、光学的に読み取った位置情報のフィードバックも利用できます。

MBE 加熱ビュー ポート

Veecoの加熱ビューポートは、MBEシステムの光学ポートのコーティングを防ぎ、結晶成長の継続的かつリアルタイムのフィードバック制御を可能にします。

MBE るつぼ

VeecoのSUMO®セル用の独自のるつぼを含め、MBE用蒸着セルに対応したVeecoの様々なPBNるつぼ製品により、ソース原料の容量を増やすことができます。

MBE システム用成長制御&スケジュール管理ソフトウェア

プロセス制御の完全なソリューションを求めるお客様のために、Veecoは、Molly成長制御ソフトウェアおよびLot Managerスケジュール管理ソフトウェアで、研究および製造MBEシステム用の統合ソフトウェア制御ソリューションを提供しています。

リン バルブド クラッカー セル温度コントローラー

リン バルブド クラッカー温度コントローラを使用すると、環境条件の変化により生じる可能性があるフラックス不安定性を、正確に安定して制御することが可能になります。

自動バルブポジショナー

Veeco SMC-II自動バルブ ポジショナーにより、精密で再現可能な自動フラックス制御を実現できます。ソースのニードル バルブのポジショニングを完全に自動化し、バルブ位置のリモート制御を行います。

UNI バルブ RF プラズマソース オートチューナー

Veeco RFプラズマ ソース オートチューナーは、最適なプラズマ ソース条件を自動的に調整して維持し、実験中の手動調整の必要性を無くします。

UNI ブロック MBE 基板ホルダー

一体型UNI-Block®インジウム フリー基板ホルダーにより、柔軟性が増し、パーティクル発生が減ります。同じホルダーリング内で基板の全体または一部をより迅速に取り付けられます。

基板ヒーター

特定の温度環境および成長環境に適応したVeecoの基板ヒーターにより、加熱の柔軟性が最適化されます。基板ヒーターは、一般的なMBEシステムに対する直接交換部品として入手できます。

MBE システム ケーブル

コントローラとセルを接続するVeecoのシステム ケーブルで、信頼性のあるMBE噴散セル動作(高電流と高動作温度を伴う)を保証します。

CBr4 ガス流量制御システム

ガスの高性能UHV供給のためVeecoのガス クラッカーは、フラックス均一性を最適化し、CBr4ガスのUHV環境への導入の制御を可能にします。