MBE ソース

MBE ソース

Veecoは、低、中、高温を必要とする様々な要素に合わせて調整されたシングルフィラメントやデュアルフィラメントを含むMBEソースを提供しています。

ドーパント

MBEプロセスにおけるドーパント導入のために精密なフラックス制御が必要な場合や、熱分解を必要としないガスが必要な場合は、Veecoのドーパント製品が最適です。 

高温

Veecoの高温ソースは、最高2000℃の低蒸気圧原料に利用できます。

低温

Veecoの低温エピタキシャル ソースにより、幅広いアプリケーションに対応する、正確で安定した低温エピタキシャル ソースの性能を実現します。

中温

中温MBEソースは、ホットリップSUMOソースから熱蒸着用の標準フィラメントまで、ほとんどあらゆるアプリケーションに使用できます。

特殊ソース

Veecoは、シングルおよびデュアル フィラメントを含む多様な仕様を取り揃え、お客様にとって最適なMBEソースが選択できる機会を提供しております。