ドーパント

ドーパント

MBEプロセスにおけるドーパント導入のために精密なフラックス制御が必要な場合や、熱分解を必要としないガスが必要な場合は、Veecoのドーパント製品が最適です。 

5cc デュアル ドーパント ソース

Veecoの5cc デュアル ドーパント ソースにより、容量が3倍以上に増加し、各るつぼのシャッターを独立に動作させる機能が追加されます。

低温ガスソース

プレクラッキングを伴わないソース ガスの経済的な導入

ドーパントソース

MBEドーパント成分の安定性能