低温

低温

Veecoの低温エピタキシャル ソースにより、幅広いアプリケーションに対応する、正確で安定した低温エピタキシャル ソースの性能を実現します。

耐腐食性バルブ付きクラッカー

耐腐食性バルブ付きクラッカーの優れたフラックス制御により、従来の熱制御ソースでは不可能な複雑な構造を実現できます。

リン バルブド クラッカー

最大投資収益率のリンソリューション

セレンバルブ付きクラッカー

多数の加熱ゾーンにより、セレンバルブ付きクラッカーは、腐食性水蒸気による化学的劣化に耐えながら、分解または未分解セレンフラックスを生成できます。

砒素バルブド クラッカー

業界標準の砒素ソース

格納式ソース

Veecoの格納式ソースは、メンテナンスやシステム アップタイムのためのソースの取り外しなど、MBEの基本的な制約に対応しています。

シングルフィラメントソース

シングル フィラメント ソースは、高蒸気圧原料に最適なコスト削減ソリューションです。

デュアルフィラメントソース

デュアル フィラメント ソースは、るつぼの本体部分と先端部分を別々に加熱するための2つの独立したフィラメントを有しており、これによって高い温度制御性を実現しています。

硫黄バルブド クラッカー

流束のための効率的な原料保存もしくは準瞬時変調を提供することにより、硫黄バルブド クラッカーは、腐食性水蒸気による化学的劣化に耐えることができます。

SUMOソース

SUMOソースは、良好な温度安定性とともに、高蒸気圧原料でクラッキングなし蒸着源として最適です。

酸素耐性ソース

Veeco抗酸素寿命延長ソースにより、稼働時間の増加と修理コストの削減を実現します。

耐アンモニア性ソース

Veecoのammonia-resisantソース(耐アンモニア腐食)を使用することにより、使用可能時間の増加および修理コストの削減、ソース寿命の延長を実現します。