中温

中温MBEソースは、ホットリップSUMOソースから熱蒸着用の標準フィラメントまで、ほとんどあらゆるアプリケーションに使用できます。

シングルフィラメントソース

シングル フィラメント ソースを使用することにより、生産性の高い、高付加価値のMBEプロセスを最適な費用対効果で得ることができます。このソースは、信頼性の高いバンド型熱電対、および750~1200°C間で作動するシングルヒーターフィラメントを装備しています。

ガリウムおよびインジウム用下向きSUMOソース

Downward-Looking SUMO®ソースにより、大容量、優れたフラックス均一性、無視できる程度のシャッター フラックス変動、最小枯渇効果を実現します。

デュアルフィラメントソース

高品質のGaおよびIn含有原料の成長用に設計されているデュアル フィラメント ソースは、充填原料の再凝結を防ぎ欠陥を減らします。

アルミニウム用コールドリップSUMOソース

Cold Lip SUMO®ソースでは、損傷を低減し、厚さ均一性およびフラックス安定性を得ることができます。Ⅲ族原料の蒸発に最適のMBEソース技術です。

格納式ソース

Veecoの格納式ソースは、メンテナンスやシステム アップタイムのためのソースの取り外しなど、MBEの基本的な制約に対応しています。

ガリウム・インジウム用ホットリップ SUMO ソース

Hot Lip SUMO®ソースにより、分子線エピタキシー(MBE)プロセス用のための優れたフラックス均一性、無視できるシャッター フラックス変動、および、最小枯渇効果を実現します。

酸素耐性ソース

Veeco抗酸素寿命延長ソースにより、中間温度および部分的圧力において精密な分子線エピタキシー(MBE)動作を実現します。

耐アンモニア性ソース

Veecoの中間温度環境用の延長寿命抗アンモニア分子線エピタキシー(MBE)ソースを使用して、アンモニア(NH3)ベース エピタキシーの生産性と性能を最大化することができます。