MBE システム

MBE システム

Veeco は、革新的で信頼性のある分子線エピタキシー装置 (MBE) システムについて、業界で最も幅広い製品ラインアップを提供しています。

GEN20 MBE システム

VeecoのGEN20™ MBEシステムでは、極めて柔軟なツールを利用できます。このツールは、電子ビーム技術を必要とするアプリケーションを含む、III-V族や新原料用に構成可能です。

GEN200 MBEシステム

市場でコスト効率がよく大容量のマルチ4インチ生産MBEシステムである、VeecoのGEN200® MBEシステムは、卓越したスループットおよび優れたウエハ品質を実現します。

GEN2000 MBEシステム

GEN2000® MBEシステムは、優れたスループット、より長いキャンペーン時間、小さな設置面積、およびクラスタ ツール ウエハ ハンドリング機能を提供します。

GEN930 研究開発 MBE システム

GEN930® MBEシステムは、窒化物および酸化物アプリケーション用の直接ポンプ カップリングと共に、III-VまたはII-VI族原料の開発に最適です。 

GENxcel研究開発MBEシステム

新しいGENxcelシステムは、2013年8月の発売以来、最もよく売れているMBEシステムである、受賞歴のあるGENxplor™を拡張したものです。このシステムでは、GENxplorシステムの3インチ機能に比べて、単一の4インチ基板で質の高いエピタキシャル成長が可能です。

GENxplor 研究開発 MBE システム

Veecoの受賞歴のあるGENxplor™ R&D MBEシステムは、当社の実績あるGEN10™ MBEシステム成長チャンバー設計を活用して、他に類を見ないプロセス柔軟性を実現しています。

GEN10 MBE システム

GEN10™ MBEシステムは、実績のあるプラットフォームにおける最も経済的で柔軟性のあるクラスタ ツール装置により、最高3つまでの構成可能な、原料に特化した成長モジュールが可能になります。