PVD システム

PVD システム

Veecoの物理蒸着システムは、先進のプロセス機能、卓越した均一性、多様な蒸着モードによって、多様な薄膜蒸着アプリケーションに最大限の柔軟性を提供します。

NEXUS PVD-1 PVD システム

VeecoのNEXUS PVD-1単一ウエハ物理蒸着モジュールで必要とされる簡易性、信頼性、そして性能です。

NEXUS PVDi物理蒸着システム

Veecoの単一ターゲットNEXUS PVDi物理蒸着システムによって、多様な薄膜蒸着アプリケーションに最大限の柔軟性を提供します。