Ultratech - Veecoの一事業部

Ultratech - Veecoの一事業部

低コスト、高生産性の製造機器の世界有数のサプライヤー、Ultratechは、Veecoの一事業部として、半導体市場セグメントに重要なイメージングおよび加工機能を提供しています。各製品ファミリーは特定の用途や市場要件に応じて調整されており、これまでVeecoのお客様に期待されてきた、市場をリードする技術とコスト効果の高いシステム性能を実現しています。

リソグラフィー システム

Ultratechのリソグラフィー ステッパー製品ファミリーは、高度なパッケージング アプリケーションの独自のニーズに特に対応するよう設計されています。

レーザー処理システム

Ultratechは、65nm以降のテクノロジー ノードで熱アニーリング ソリューションを実現する革新的な技術製品を開発しました。

ウエハ検査システム

Ultratechのコヒーレント勾配検知(CGS)をベースにした3Dウエハ検査システムにより、ウエハ製造工場は重要な処理ステップでのパターン付きウエハの検査が可能になりました。