ウエハ検査システム

ウエハ検査システム

Superfast 3Dウエハ検査システムは、光学エンジニアリング、システム統合、および材料物理学の広範な知識にわたるUltratechの中核技術を利用して開発されました。

Veeco Ultratech Superfast 4Gウエハ検査システム

Superfast 4Gは、所有コストを低減しながら旧世代のツールを改良したものであり、FinFETトポグラフィーと歪み制御のために採用されました。

 

Veeco Ultratech Superfast 4G+ウエハ検査システム

Superfast 4G+には、4Gに比べてスループット、変位量の再現性、エッジ除外性能を向上させるアップグレードがあります。