大型基板または大型基板のバッチ用リニア ソース
大型独立基板または大型基板のバッチを使用して実績のあるVeecoのリニア グリッドDCイオン ソースは、高い均一性と高信頼性を備えたイオンビーム蒸着(IBD)プロセス プラットフォームに最適です。直線状または円筒形基板ホルダーに対する優れたリソースです。
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