CBr4 ガス流量制御システム

炭素ドーピングのための、究極の制御ソリューション

Veeco Multi-Orifice CBr4ガス流量制御システムでは、Veeco低温ガス ソースとの併用により、CBr4ガスを炭素ドーパント ソースとして利用し、CBr4ガスのUHV環境への導入を制御できます。クローズドループ圧力制御および空気圧作動開閉バルブ シリーズを使用することにより、システムはガス調整機能を最大化します。インターロックの組み込みにより、装置の破損が防止され、バキューム システムの最適な性能が保証されます。Veeco CBr4ガス流量制御システムには、2つの選択システム状態のモードがあります。それは、ローカルとリモートです。自動MBEシステムのリモート状態には、システム成長を制御するECS1 Molly®バージョンの成長制御ソフトウェアが必要になります。

 

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