ガス ソース供給システム
Veeco MBEガス ソースの精密制御用
Veeco社のガス供給システム（GDS）は、ガスの精密制御のほか、不活性ガス、有害ガス、可燃性ガスなどの監視とインターロック制御を可能にします。Molly® ECS1成長制御ソフトウェアは、お客様の既存システムへ容易に統合できます。
あらゆるニーズとご予算に応じたさまざまなパッケージ オプションを用意しています。すべてのパッケージは、回路ごとの手動ガス管遮断バルブ、ガス フィルタ清浄器、流量コントローラ、および空気圧制御の流出入/通気バルブを備えています。
- Veeco MBE ガス ソース用の高効率で安全なガス制御手段
- プロセスの操作と監視を容易化
- 特定の用途とご予算に応じた 3 種類のモデル構成をご用意
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