VeecoのGEN20™ MBEシステムは、III-V族に構成可能な設計であり、電子ビーム技術の統合を必要とするアプリケーションなどの新材料の利用が可能な極めて柔軟性に富むツールです。本システムは生産設計技術を取り入れているため、ラボから工場への移管を理想的に行う事のできるオプションのクラスタ ツール ウエハ搬送システムの提供も可能となります。

• 材料研究および試作環境に最適
• 12MBEソースポート、および電子ビーム機能を追加するオプションを装備した、基板の方向に対して垂直なソース
• 手動または自動のウエハ移送オプション
• 構成可能な極低温パネル、マニピュレーター、シャッタおよびIn-situモニター装置
• モジュール形式設計で、最大2つの成長モジュールが可能