GEN2000 MBEシステム

より優れたスループット、より長いキャンペーン時間、より小さい設置面積、およびクラスタ ツール ウエハ ハンドリング


GEN2000® MBEシステムは、優れたスループット、より長いキャンペーン時間、より小さい設置面積、クラスタ ツール ウエハ ハンドリング機能を提供します。ヘテロ接合バイポーラトランジスタ(HBTs)と高周波トランジスタ(pHEMT)のようなワイヤレス テレコミュニケーション デバイスの大量生産、および低所有コストでのマルチ6インチ生産を必要とする新しいアプリケーションに最適です。

  • ウエハあたり業界最低コストを実現
  • 優れた設計により、類似のMBEシステムより40%~60%小さい設置面積を実現
  • モジュラーアーキテクチャにより、最大2つの成長モジュールが可能で、スループットの増加、または互換性のない材料の処理が実現
  • 簡単なメンテナンスでアップタイムを最大化
  • オプションのバルクヘッドを取り付けることにより、無菌室スペースが最適化
  • 業界で最も革新的で、信頼できるシステム ハードウェア、ソースおよびコンポーネントを組み込み

当社のチームがお手伝いいたします。