NEXUS IBD-LDDイオン ビーム蒸着システム

イオンビーム製品における20年のリーダーシップにより、今日の欠陥のない極端紫外(EUV)マスク ブランクを実現

フォトマスクの製造には、精緻な多層膜構造の蒸着と同時に、最高レベルの粒子制御が欠かせません。この課題を解決したのが、Veeco の Nexus IBD-LDD イオン ビーム蒸着システムです。1990年代からフォトマスク市場で成功を収めてきたVeecoは、長年にわたる研究成果を今日の最新鋭システムに注ぎ込みました。このIBD-LDDシステムは、今日のモリブデン(Mo)およびシリコン(Si)多層の蒸着と、ルテニウム(Ru)キャッピング層の蒸着を極端紫外(EUV)マスク ブランクや低欠陥率かつ先進的な薄膜を必要とするその他のマスク用途で行う場合に、理想的です。

  • 生産現場で実績を積んできたプラットフォーム
  • 最低レベルの欠陥密度
  • 卓越した均一性と信頼性
  • 高い反射率
  • 同一チャンバーで複数の材料を蒸着
  • その他の Veeco クラスタ モジュールへ簡単にドック増設可能

当社のチームがお手伝いいたします。