ガス混合濃度の改善による高い生産収率の実現
Veeco の精密ガス混合システムは、高度な濃度制御によりガス混合物を生成して、厳密なプロセス制御および高い歩留まりを実現します。また、混合濃度のアクティブ制御により、上流濃度の変化やドリフトを補償します。例 : Piezocon 精密ガス混合システムは、タンクの寿命期間中、±0.5 ppm以上の濃度制御にて、1%のドーパント予混合物から50 ppmのドーパントガス混合物をタンク間で生成可能です。
業界の安全プロトコルを遵守するために、標準的なSEM準拠ガス ボックスにGMSを設置してください。
当社のチームがお手伝いいたします。