光学コーティング向けのSPECTORイオン ビーム蒸着スパッタリング

精密光学薄膜用のターンキー製造

VeecoのSPECTOR®イオンビーム スパッタリング（IBD）光学コーティング システムにより、高い精度と柔軟な薄膜プロセスを実現できます。最先端の光学モニタリングシステムを備えたSPECTOR IBD光学コーテイング システムは、あらゆる光学薄膜製造アプリケーションの歩留まりとデバイス性能のニーズにお答えします。

SPECTORデュアル イオン ビーム スパッタリング システム

• 相互交換可能なプラットフォームで、平面、回転、または反転治具に対応
• テレコムへアプリケーションに対応する200、100、および50 GHz DWDMフィルターの高歩留り率を実現。
• 狭い通過域、広い阻止帯域、急勾配や低挿入損失など、厳しいデバイス仕様に対応
• ARコーティング、複雑な非1/4波コーティングおよび超低損失レーザーミラーを生成
• 数ppmレベルで吸収および散乱するミラーを製作
• 高エネルギー プロセスにより、より良いパッキング密度および低ピンホール密度を実現
• 低圧操作により高膜純度を実現
• 優れた膜厚制御

リアルタイムで動きをアニメーション化した独自のグラフィック インターフェースを特長とするSOURCERER®システム マネージャーは、市販のどのイオン ビーム システム制御パッケージよりも優れた制御と柔軟性を提供します。簡単なコマンドもしくは簡単にインポートされた薄膜設計を使い、プロセスエンジニアは、先端の自動レシピを開発してプロセスを開始し、完了したら戻ることができます。Veecoの豊富なプロセス知識を生かし、ベースで対応するサービス組織とともに、当社は、販売前、販売後の両方でお客様をサポートします。