Veeco RFプラズマ ソース オートチューナーは、Veeco UNI-Bulb RFプラズマ ソースと連動して使用され、ハンズフリー操作が可能になります。このオートチューナーは、最適なプラズマ ソース条件を自動的に調整して維持し、実験中の手動調整の必要性を無くします。たとえば、ガス流量や出力レベルなどの動作条件が頻繁に変化する場合、オートチューナーはプロセスの自動化の優れたソリューションになります。オートチューナーは、自動調整コントローラー、自動調整ユニット、自動調整電源の3つの部品で構成されています。自動調整コントローラには、オペレーターがアクセス可能な制御、自動調整ユニットの状態を示すディスプレイ、およびユーザーのプロセス システムへの制御インターフェースの機能があります。自動調整ユニットは、2つの可変キャパシタと1つの固定インダクタで構成されています。自動調整ユニットの可変キャパシタは、サーボ モーターで駆動され、自動調整コントローラから電力が供給されます。オートチューニング電源からユニットに電力を供給するため、必要な電力要件が満たされ、適切な機能を確実に実行できます。Veecoオートチューナーには、すべてのVeeco UNI-Bulb RFプラズマ ソースが標準装備され、またVeecoマニュアル チューナーから直接置き換えることもできます。オートチューナーを追加することの利点は、Veeco RFプラズマ ソースの成長条件が安定して維持されることと電力効率が最適化されることです。自動調整コントローラのプログラム可能なパラメータにより、アプリケーション ニーズに合わせた、さまざまなオプションを選択できます。

自動モードでは、自動調整ユニットの（位相および振幅検出器という名前の）内部センサーから、誤差信号が生成されます。自動調整コントローラはこの誤差信号に反応し、サーボ モーターを駆動し、プラズマのインピーダンスが適切になるようネットワークを自動的に調整します。

手動モードでは、オペレーターは、正面パネルのMIN/MAXスイッチを使用して可変キャパシタの位置を調整し、サーボ モーターの回転方向を制御し、プラズマのインピーダンスに合うよう自動調整ユニットを手動で調整できます。

• 安定した成長条件を確実に
• 電力効率の最適化
• ハンズフリー操作が可能
• Veecoの酸素および窒素RFプラズマ ソースを使用可能