Veecoの原子層蒸着（ALD）研究向けシステムは、ALDの科学者によって設計され、実験の柔軟性と価値を最大限に高めるよう製造されています。汎用プリカーサー供給システムを使用すると、任意のプリカーサー ポートで固体、液体、または気体の化学物質を使用できます。オゾン発生器、in-situモニター、およびさまざまな構成など、多数のオプションから選択できます。当社のALD科学者チームは、これまでと同じように、レシピ開発と膜特性評価に関する疑問にお答えします。発表されている800件を超える学術論文に、Savannah®サーマルALDシステムとFiji®プラズマALDシステムで行われた研究が取り上げられています。
世界中で300台以上設置されている、当社のSavannah®シリーズは、ALDの研究開発の標準装置です。Savannah®は、使いやすさと優れた実験の柔軟性をコンパクトで安価なパッケージに組み合わせています。
Savannah®シリーズは、手頃な価格で信頼性の高いALD研究システムをお探しの場合に最適です。
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お客様の要件がより高度で、さらに実験の柔軟性が必要な場合、Fijiはニーズを満たすシステムです。100台を超えるシステムが世界中に設置されています。Fijiはモジュール式で、特定のニーズに合わせてカスタマイズできます。
Fiji®にはプラズマ発生器が搭載されており、プラズマで強化されたALDを実現します。クリーンルームとの互換性を確保したり、オプションのロードロックを設定したりできます。
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