グリッド付き DC イオンソース

大型独立基板または大型基板のバッチを使用した、高い均一性と高信頼性を備えたイオン ビーム蒸着プロセス プラットフォーム向けとした、実績のあるリニア グリッド DC イオン ソースです。

グリッド付き DC イオンソース

大型独立基板または大型基板のバッチを使用した、高い均一性と高信頼性を備えたイオン ビーム蒸着プロセス プラットフォーム向けとした、実績のあるリニア グリッド DC イオン ソースです。

SOLUS DC イオン ソース コントローラ

VeecoのSOLUS™ DCイオン ソース コントローラは、最先端の高精度コントロール システム設計がなされているため、安定した電力をイオン ソース動作用に提供します…
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6cm x 30cm 直流（DC）イオンソース

大型基板または大型基板バッチ向けの実績のあるリニア ソースであるVeecoのグリッドDCイオン ソースは、高い均一性と信頼性を…
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