イオンビーム蒸着

イオンビーム蒸着(IBD)システムによって、均一性と再現性を最大限に高める、極めて精密で高純度の薄膜層デバイスを生み出します。

蒸着システム

イオンビーム蒸着(IBD)システムによって、均一性と再現性を最大限に高める、極めて精密で高純度の薄膜層デバイスを生み出します。

EUVマスク ブランク、VeecoのNexus IBD-LDDに対する最高レベルの粒子制御と反射率の要求を満たす…
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Veeco第3世代NEXUS®イオンビーム蒸着システムは、80Gb/inの2センサーの歩留まり向上と将来のTFMHデバイス製造の厳しいご要求にお答えします…
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