レーザー処理システム

レーザー処理システム

Veecoは、最先端のテクノロジーノードで、革新的な低所有コストで、量産向けの生産実績のある熱アニーリング ソリューションを提供します。

最先端のレーザー スパイク アニール技術で材料に差をつける

• 低いサーマル バジェット：拡散の少ない超活性化により重要なデバイス性能を向上
• 非活性化の排除：デュアルビーム テクノロジーは、ドーパントの非活性化なしでデバイスの改善を維持
• パターン依存性の低減 ：ダイ内およびダイ間のダイの均一性を向上
• 閉ループ温度制御 ：リアルタイムのプロセス制御とFDCによる信頼性の高い生産