自己構成単分子膜（SAMS）
Savannah®SAMSキット オプションを使用すると、気相での自己組織化により、さまざまな有機単分子層を蒸着できます。気相でのSAMS蒸着は自己制限的であるため、より厳しい3Dナノ構造でもSAMS膜は非常にコンフォーマルで均一です。さらに、完全に構成された単分子層は、液相での24〜48時間とは対照的に、数分で実現できます。In-situ診断（QCM、楕円偏光法）とALD機能と組み合わせにより、これはさまざまな有機/無機薄膜を蒸着するための優れたR&Dソリューションです。
気相蒸着SAMS
自己組織化単分子層の気相蒸着は、金属、酸化物、ポリマー、繊維などのさまざまな表面を迅速に機能化するための多用途で低コストのソリューションです。低いサーマル バジェット プロセス（100°C未満）により、表面特性を原子スケールで調整して、湿潤性（疎水性、親水性）、粘着性と吸着性、電気的、化学的、生化学的特性の制御などの最適な性能を実現できます。SAMは、ナノ粒子や生体分子を固定したり、シード層として使用したりするための理想的な媒体も提供します。さらに、選択領域の蒸着にもうまく使用されてきました。
気相蒸着では、MEMSやNEMSで発生する複雑な3Dマイクロおよびナノ構造を含む、安定した単分子層を5～10分で均一に蒸着させることができます。このドライ真空ベースのプロセスにより、サンプルの清浄度とALDプロセスとの統合が保証され、研究者はハイブリッド有機/無機合成を介して表面特性を調整できます。
シラン、チオール、ホスホン酸など、さまざまなSAMS膜を蒸着できます。
SAMSの用途
- 選択領域原子層蒸着（ALD）の抑制層
- 有機薄膜トランジスタ
- フレキシブル エレクトロニクス用の透過コーティング
- ナノ構造の機能化
- MEMSのスティクション防止
- バイオセンシング/細胞接着/タンパク質吸着
- 湿潤性/透過性制御のための大表面積コーティング
SAMSオプションでは、さまざまな表面を迅速に機能化し、湿潤性を制御できます。こちらは、FDTSコーティングによって機能化されたケイ素表面の例で、10分間の露出後に水接触角が115度になります
原子層蒸着（ALD）シード層を含むFDTSの119˚の水接触角
SAMSキットのオプションにより、最適な性能と再現性を実現するために、SAMSの線量を正確に制御できます
気相蒸着SAMSは、原子層蒸着（ALD）膜の選択的蒸着に対する、高速で万能なアプローチをもたらします。次の例では、C18 SAMSを銅とSiO2に選択的に蒸着し、その後、SiO2ではなく銅での窒化ハフニウムの原子層蒸着（ALD）成長を抑制します。この処理は、IMECのSilvia Armini研究グループとの共同研究の一環です。
SAMSキットの仕様
| システム | Savannah® S100、200、300 |
| 最大キット/ツール数 | 2個まで |
| 基板サイズ | 最大300mm（S300の場合） |
| 通常の実行時間 | 5～20分 |
| 線量管理 | ±0.5µmol |
| プリカーサー温度 | 最高200˚C |
| アキュムレータ温度 | 100˚C（圧力計あり） 最高150˚C（圧力計なし） |
| 線量圧力範囲 | 0～10 Torr（Baratron使用） |
| 共反応物 | H2O、オゾン、空気 |
| シード層 | 原子層蒸着（ALD）の酸化物と金属 |
| ポンプ | Adixen 2021C2（パージキット付き） |
| ソフトウェア統合、 エンドポイント制御 |
Savannah®ソフトウェアを 標準で実装済み |
| FDTS接触角 | >110度 |
| FOTS角 | >105度 |
| DTS角 | >100度 |
