イオンビーム エッチング装置

イオンビーム エッチング装置

NEXUS®イオン ビームエッチング(IBE)システムで、不連続マイクロ電子デバイスおよびコンポーネントの高歩留まり生産のために、精密で複雑なパターンをエッチングします。

NEXUS IBE-350Siイオンビーム エッチングシステム

VeecoのNEXUS IBE-350Siイオン ビーム エッチング システムで、改良されたプロセス制御、小さな設置面積およびフィールドアップグレード可能な設計を得ることができます。

NEXUS IBE-420iイオンビーム エッチングシステム

NEXUS® IBE-420i™ イオンビームエッチングシステムはデータストレージのデバイスイールドを向上し、優れたエッチング均一性を実現します。

NEXUS IBE-420Siイオンビーム エッチングシステム

NEXUS® IBE-420Si™ イオンビームエッチングシステムは高いスライダー製造歩留まりと優れたイオンビームエッチングの均一性を実現します。

NEXUS IBE-350Seイオンビーム エッチングシステム

VeecoのNEXUS® IBE-350Se™イオン ビーム エッチング システムは、ディープキャビティー処理と高エッチング レートのアプリケーションでの生産性向上に貢献します。

Lancerイオン ビーム エッチング システム

低所有コストと高品質のエッチング特性を実現するスタンドアロン イオン ビーム エッチング システム