イオン ビーム スパッタリング

素材が最も重要である場合、極めて精密で高純度の薄膜層デバイスは、当社のイオンビーム蒸着(IBD)システムを使うことで、最高の均一性と再現性を達成します。

スパッタリング システム

素材が最も重要である場合、極めて精密で高純度の薄膜層デバイスは、当社のイオンビーム蒸着(IBD)システムを使うことで、最高の均一性と再現性を達成します。

Easily double throughput for designs in which the deposition time is shorter than the typical pre-process steps required of…
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VeecoのSPECTOR®イオンビーム スパッタリング(IBD)光学コーティング システムにより、高い精度と柔軟な薄膜プロセスを実現できます。
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Get unsurpassed ion beam film quality with batch sizes near that of e-beam systems with Veeco’s SPECTOR® Large Area…
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Get improved repeatability and exceptional process control with Veeco’s Quest Broadband Optical Monitor. Its features allow for control of…
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