生産向けALD

生産向けALD

大きな基板での均一性、再現性、および低温蒸着により、ALDは次世代の大規模製造薄膜技術の理想的な候補となっています。

Veecoは、プロセスをスケールアップし、世界中のオートメーションラインとクラスタツールに反映させることによって、ALDを製造グレードの技術として完成させました。当社のALDシステムを統合したメーカーは、以前のコーティング技術と比較して、製品の品質と信頼性が向上し、運用コストが削減され、環境に配慮しています。

バッチALDツール:Phoenix®

生産向けALDのニーズがある場合、Phoenix®生産向けALDシステムが適切な選択肢です。Phoenix®は、一度に多数の基板を保持できるバッチALDツールです。独自のチャンバー設計により、バッチ間で正確な膜が保証されます
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HVM ALDツール:Firebird™

Firebird™ HVM ALDシステムは、その長期にわたるキャンペーンと保守性の向上により、少量の量産前評価から量産に至るまで、所有コストの要件以上を実現しています。毎月最大40,000ウエハのスループットを提供するFirebird™は、クラス最高の生産性、優れた膜性能、低運用コストを兼ね備えており、特殊なウエハ製造に関する最も厳しい大量生産のニーズに対応します。
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