ALDの材料

ALDの材料

化学者はこれまでに、ALD用の多くの胸躍る新しい材料を合成し、金属、半導体、絶縁体、酸化物、窒化物、誘電体、磁性、屈折コーティング向けの特性を改善したコーティングなど、多数の原子層蒸着(ALD)材料を作り出してきました。

ALDの既存の材料および新しい材料は、当社のパートナーであるStrem ChemicalsおよびSigma-Aldrichを通じて入手できます。リストにない材料については、検索ページを使用するか、ALDinfo@veeco.comまでご連絡ください。

当社の技術専門家チームが、お客様の用途に適した材料を見つけるお手伝いをします。

酸化物 窒化物 硫化物 金属/テルル化物
AI2O3 Fe2O3 Li3PO4 NiFe2O4 V2O5 AlGaN MnN CdS Co
Al:HfO2 Fe3O4 LiPON NiO WO3 AlN  NbN CoS Cu
Al:ZnO FePO4 LiFePO4 NiO Y2O3 BxGa1-xN NbTiN Cu2S Fe
AlGaN Ga2O3 Li2MnO4 PO4 YSZ BxIn1-xN SiN Cu2ZnSnS4 Mn
BOx HfO2 Li5TaOz SiO2 ZnAl2O4 CoN TaN In2S3 Ni
BiFeO3 HfSiON MgO SnO2 ZnO Hf3N4 TiN MnS Pd
CeO2 In2O3 MnO2 SrO ZnMgO InAlN WN PbS Pt
Co3O4 ITO MoO3 SrTiO3  ZnOS InGaN ZrN Sb2S3 Ru
CoFe2O4 La2O3 NaTiO Ta2O5 ZrO2 InN   SnS Bi2Te3
Er2O3 Li2O Nb2O5 TiO2       ZnS Sb2Te3