グリッド付き DC イオンソース

グリッド付き DC イオンソース

大型独立基板または大型基板のバッチを使用した、高い均一性と高信頼性を備えたイオン ビーム蒸着プロセス プラットフォーム向けとした、実績のあるリニア グリッド DC イオン ソースです。

SOLUS DC イオン ソース コントローラ

VeecoのSOLUS™ DCイオン ソース コントローラは、最先端の高精度コントロール システム設計がなされているため、安定した電力をイオン ソース動作用に提供します。

6cm×30cm 直流(DC)イオンソース

大型基板または大型基板バッチ向けの実績のあるリニア ソースであるVeecoのグリッドDCイオン ソースは、高い均一性と高信頼性を備えたイオン ビーム蒸着プロセス プラットフォームにも最適です。