SOLUS DC イオン ソース コントローラ

業界有数のVeeco DCグリッド イオン ソース用電力供給システム

VeecoのSOLUS™ DCイオンソース コントローラは、最先端の高精度コントロール システム設計がなされているため、あらゆる種類のプロセスで信頼性が高く安定した電力をイオンソース動作用に提供します。統合電源モジュールおよび比率調整可能なガス流量制御により、要求の厳しいプロセス環境においても最適なイオン ソース制御が可能です。

• 使いやすいワンボタン操作
• 手動、自動、およびリモートの動作オプション
• 最先端制御によるプラズマ安定性の向上
• 設定可能な統合ガス流量制御
• カスタマイズ可能な制御設定による適応ソース動作
• 時間短縮のためのトラブルシューティング機能
• 便利なイベント/ステータス ロギング画面