Mark II+グリッドレスイオンソース

ビーム出力の増加およびメンテナンス機能を改善

劇的に増加したビーム電流と取り外し可能なアノード部品により、Veecoの業界トップレベルの光学コーティング システム用グリッドレス イオン ソースに更なる改善を与えることにより、MarkII+エンドホールイオン ソースは新しい価値を生み出しました。

• 高速処理および大型チャンバーのために、最大70%増になったビーム電流
• 取り外し可能なアノードアセンブリにより、より迅速なメンテナンスとダウンタイムの削減を実現
• 取付が簡単で信頼性の高い、統合的なフィードスルーおよびケーブル敷設
• 反応性気体、不活性気体および高出力密度に適合
• Mark IIソースと同じ取付プレートを使用しより小型で高速なイオンソースにアップグレード
• 柔軟な統合により、スペースを節約するシステム設計と広いビームアングルを実現