Veecoの特許取得済み砒素バルブド クラッカーは、固体ソースのMBEに大変革をもたらしました。世界各国のMBEシステムで使用され、研究開発および製造用の砒素ソースにおける業界標準となっています。Veecoバルブ付きクラッカーの革新的な設計により、固体ソースの安全性と共にガス ソースの利便性がもたらされます。固体砒素は大容量のるつぼ内で加熱され、ビーム フラックスを生成します。耐熱金属ニードルバルブは、個別に加熱される分解ゾーンへのガス流量を調整します。分解ゾーンの温度を調整して、As4またはAs2ビームを生成します。

• 約1000台の出荷実績のある、特許を有する設計
• 高度なフラックス モデリング機能により、システムの形状とユース ケースに基づくノズルのカスタム設計が可能に
• ノズル設計が材料の利用効率とフラックスの均一性を最適化
• 瞬時のフラックス調整を可能にする機械的フラックス制御
• 標準ソースよりもマテリアルロスが少なく、経済的運用が可能

砒素マークVバルブド クラッカーは最近改善され、優れたフラックス均一性および原料の浪費削減をもたらすノズルが付けられました。原料の使用方法を改善したことにより、以下のことが実現しました。

• 原料費の節約
• より長いキャンペーン時間
• システムのクリーニング時間の短縮
• 危険廃棄物生成の低減
• メモリー効果の低減
• 粒子レベルおよび剥離の低下

システムのウィンドウコーティングの削減 Veeco砒素バルブド クラッカーは、すべてのMBEシステムとの互換性を持ち、さまざまなサイズで入手できます。ほとんどの場合、砒素の使用率が高いアプリケーションに対応するため、1種類以上のサイズをお勧めしています。ウエハまたはプラテン全体に優れたフラックスの均一性を提供するため、排出ノズルは特定MBEシステムに合わせてカスタマイズされます。Veeco SMC-II 自動バルブ ポジショナーは、ニードルバルブの信頼性の高い自動制御のために、このソースでの使用が推奨されています。

性能と利点

砒素バルブド クラッカーは、準瞬時フラックス変調および完全なフラックス シャットオフのためにニードル バルブを使用することで、成長プロセス制御を最適化します。ソースは、充填材を消耗することなく、動作温度で継続してアイドリングできます。従来のオープン ソースに使用される熱制御ではなく、機械的なフラックス制御を使用すると、ソースの応答性を制限することなく、充填容量を任意に増大させることができます。

確認されている利点は以下の通りです。

• 成長プロセスに対する制御力の強化
• 生産性の増大
• より長い成長キャンペーン時間
• 消費の削減
• より徹底した充填材のアウトガス処理
• ヘテロ構造への統合における不測事態の削減
• in-situ診断ツールの活用