6 cm x 66 cm RF イオン ソース

大型基板での均一性の高いイオン ビーム処理を実現

大型基板の均一な処理に最適なVeecoの6 x 66cm RFリニア イオン ソースは、長期無停止量産向けに、100%アルゴン、酸素、その他の反応ガスでの省メンテナンス性でフィラメントなしの動作を提供します。

• プリ洗浄、エッチングおよびイオンビームアシスト蒸着 (IBAD) への応用に対応した適切な電流密度および均一性を実現
• 水冷
• 不活性、酸化環境の両方で信頼できる、統一動作
• 低から高出力動作
• 業界唯一のフィラメントのないRFニュートラライザによって、より長期の量産が可能
• 4グリッド設計（オプション）で、非常に高いコリメーションを実現
• 安定した効率の良いプラズマ動作によって、正確な制御と高再現性が可能